?微型導軌定制長度精度：指微型導軌定制實際長度與設計長度的符合程度。一般來說，微型導軌的長度精度通常控制在 ±0.01mm 至 ±0.05mm 之間。例如，對于一些高精度的光學設備或半導體制造設備中使用的微型導軌，要求長度精度達到 ±0.01mm，以確保設備的高精度定位和運動控制。
導軌寬度精度：即導軌寬度尺寸的準確性。其精度一般在 ±0.005mm 至 ±0.02mm 范圍內。像在精密儀器的傳動系統中，微型導軌的寬度精度若能達到 ±0.005mm，可有效減少導軌與滑塊之間的間隙，提高運動的平穩性和準確性。
直線度精度：直線度是衡量導軌在縱向平面內直線程度的指標。通常，微型導軌的直線度精度要求在每 200mm 長度內不超過 ±0.002mm 至 ±0.005mm。例如在高精度的坐標測量機中，需要微型導軌具有極高的直線度精度，以保證測量探頭能夠準確地沿著直線軌跡移動，從而提高測量精度。
平面度精度：平面度反映了導軌表面在橫向平面內的平整程度。微型導軌的平面度精度一般要求在每 100mm×100mm 的面積內，平面度誤差不超過 ±0.001mm 至 ±0.003mm。在一些對表面平整度要求極高的光學鏡片研磨設備中，微型導軌的平面度精度達到 ±0.001mm，可確保鏡片在研磨過程中受到均勻的壓力，提高鏡片的研磨質量。
平行度精度：包括導軌兩側面之間的平行度以及導軌與安裝基面之間的平行度。微型導軌兩側面的平行度精度通常控制在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間；導軌與安裝基面的平行度精度一般要求在每 100mm 長度內，誤差不超過 ±0.003mm 至 ±0.008mm。以自動化生產線中的微型導軌為例，兩側面平行度精度高可使滑塊在導軌上平穩運行，減少磨損和卡滯現象；與安裝基面的平行度精度高則能保證整個傳動系統的穩定性和可靠性。
垂直度精度：主要是指導軌側面與底面之間的垂直度。微型導軌的垂直度精度一般要求在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間。在一些需要進行高精度三維運動控制的設備中，如激光加工設備，導軌的垂直度精度直接影響到加工精度和質量，若垂直度誤差過大，可能導致激光束在加工過程中出現偏差，影響加工效果。