?微型導(dǎo)軌定制長(zhǎng)度精度：指微型導(dǎo)軌定制實(shí)際長(zhǎng)度與設(shè)計(jì)長(zhǎng)度的符合程度。一般來(lái)說(shuō)，微型導(dǎo)軌的長(zhǎng)度精度通?？刂圃?±0.01mm 至 ±0.05mm 之間。例如，對(duì)于一些高精度的光學(xué)設(shè)備或半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的微型導(dǎo)軌，要求長(zhǎng)度精度達(dá)到 ±0.01mm，以確保設(shè)備的高精度定位和運(yùn)動(dòng)控制。
導(dǎo)軌寬度精度：即導(dǎo)軌寬度尺寸的準(zhǔn)確性。其精度一般在 ±0.005mm 至 ±0.02mm 范圍內(nèi)。像在精密儀器的傳動(dòng)系統(tǒng)中，微型導(dǎo)軌的寬度精度若能達(dá)到 ±0.005mm，可有效減少導(dǎo)軌與滑塊之間的間隙，提高運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和準(zhǔn)確性。
直線(xiàn)度精度：直線(xiàn)度是衡量導(dǎo)軌在縱向平面內(nèi)直線(xiàn)程度的指標(biāo)。通常，微型導(dǎo)軌的直線(xiàn)度精度要求在每 200mm 長(zhǎng)度內(nèi)不超過(guò) ±0.002mm 至 ±0.005mm。例如在高精度的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中，需要微型導(dǎo)軌具有極高的直線(xiàn)度精度，以保證測(cè)量探頭能夠準(zhǔn)確地沿著直線(xiàn)軌跡移動(dòng)，從而提高測(cè)量精度。
平面度精度：平面度反映了導(dǎo)軌表面在橫向平面內(nèi)的平整程度。微型導(dǎo)軌的平面度精度一般要求在每 100mm×100mm 的面積內(nèi)，平面度誤差不超過(guò) ±0.001mm 至 ±0.003mm。在一些對(duì)表面平整度要求極高的光學(xué)鏡片研磨設(shè)備中，微型導(dǎo)軌的平面度精度達(dá)到 ±0.001mm，可確保鏡片在研磨過(guò)程中受到均勻的壓力，提高鏡片的研磨質(zhì)量。
平行度精度：包括導(dǎo)軌兩側(cè)面之間的平行度以及導(dǎo)軌與安裝基面之間的平行度。微型導(dǎo)軌兩側(cè)面的平行度精度通常控制在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間；導(dǎo)軌與安裝基面的平行度精度一般要求在每 100mm 長(zhǎng)度內(nèi)，誤差不超過(guò) ±0.003mm 至 ±0.008mm。以自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)中的微型導(dǎo)軌為例，兩側(cè)面平行度精度高可使滑塊在導(dǎo)軌上平穩(wěn)運(yùn)行，減少磨損和卡滯現(xiàn)象；與安裝基面的平行度精度高則能保證整個(gè)傳動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
垂直度精度：主要是指導(dǎo)軌側(cè)面與底面之間的垂直度。微型導(dǎo)軌的垂直度精度一般要求在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間。在一些需要進(jìn)行高精度三維運(yùn)動(dòng)控制的設(shè)備中，如激光加工設(shè)備，導(dǎo)軌的垂直度精度直接影響到加工精度和質(zhì)量，若垂直度誤差過(guò)大，可能導(dǎo)致激光束在加工過(guò)程中出現(xiàn)偏差，影響加工效果。